KS55-G150真空电子束焊高真空抽速慢故障修理技术

    故障现象：在抽高真空(小于10-4mbar)时抽速慢，甚至抽不上来。

    故障检查与分析：该电子束焊在抽真空时，低真空阶段工作正常（25min可完成），在进入抽高真空阶段时，焊接室真空度到达需要很长时间(正常为15min)，甚至无法抽到指定的真空度。检查高真空回路泵组的工作情况，发现机械泵腔体内的P3油全部没有了，而后级罗茨泵的P3油位高出很多，观察扩散泵油的状况，油位高出正常位置并已变为茶色。高真空管路发生了“倒抽”现象，这与真空室的保养工作没有做到位有很大关系。由于未将真空焊接室的粉尘、杂物清理干净，在初次抽真空的过程中翻转阀打开，粉尘飘落至翻转阀闭合面，并越积越多；当真空室放气后，翻转阀闭合，但因闭合面有粉尘，无法完全密封，于是二次抽真空时，在低真空泵组抽真空阶段，当真空度比扩散泵前级管道低时，由于翻转阀不能完全密封，使扩散泵前级管道与真空室构成一个通路，形成由低级泵组来抽扩散泵前级管路气体的局面，这样就导致扩散泵前级管路倒抽，将机械泵腔体的油抽到了罗茨泵，罗茨泵又把油抽到了扩散泵。最终，机械泵内无油，罗茨泵的油溢满，扩散泵油位上升，致使高真空泵组无法正常工作。

    故障排除：

    ①关断机床的电源总开关，气源总开关；

    ②排气、拆除与扩散泵相连接的部分管路，并将其固定稳妥；

    ③拆扩散泵及循环水管；

    ④将蒸馏塔及附件取出并清洗干净，保证扩散泵的油纯洁无污染。

    ⑤重新安装蒸馏塔及其附件；

    ⑥为防止扩散泵漏气，在安装时须在接触面上的密封圈周边抹一层真空脂；

    ⑦调整好扩散泵的安装位置，将相应的外六方螺钉拧紧，固定好，最后把排气管对接好，并固定妥当；

    ⑧安装完毕后，给扩散泵、机械泵加油；

    ⑨开机试抽并进行检漏后，多次试抽机床恢复正常工作。