真空电子束焊机床真空系统结构及工作原理

    电子束焊机的真空系统如图3所示，分别由电子枪真空系统和焊接室真空系统两部分组成。

    图3

    电子枪真空系统由机械泵和涡轮分子泵构成，在抽真空时，机械泵先开始工作，当电子枪及管路中的真空度达到2×10-2mbar时，涡轮分子泵开始工作，当电子枪的真空度达到4×10-6mbar时电子枪隔离阀可以打开。

    焊接室真空系统根据焊接工艺的不同参数要求提供低真空和高真空两个系统。其中低真空系统由机械泵和罗茨泵组成；高真空系统由机械泵，罗茨泵和扩散泵组成。正常工作时，低真空回路先运行，同时高真空回路进行准备一扩散泵开始加热，它的前级机械泵和罗茨泵同时工作，当管路中的真空度到达2×10-2mbar并且扩散泵油温到达时，扩散泵才允许进行正常的工作。当焊接室低真空度到达2×10-2mbar时，扩散泵准备就绪。两个条件满足后，低真空回路关闭并停止工作，扩散泵上端的翻转阀打开，高真空回路开始工作，当真空度到达2×10-4mbar时，机床就可以进行正常工作。