中央空调系统按洁净室结构分类

    1)乱流式

    空气由空调箱经风管与洁净室内的空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线性运动而呈不规则的乱流或涡流状态。此形式适用于1～10万级的洁净室。

    定义：气流以不均匀速度不平行流动、伴有回流或涡流的洁净室。

    特性：乱流洁净室是靠多次换气来实现洁净与洁净级别。换气次数决定定义中的净化级别（换气次数越多，净化级别越高）

   (1)自净时间：是指洁净室按设计换气次数开始送风到洁净室，室内含尘浓度达到所设计的净化级别的时间。1000级希望不超过20min（可取15min计算）；10000级希望不超过30min（可取25min计算）；100000级希望不超过40min（可取30min计算）。

   (2)换气次数（按上述自净时间要求设计）：1000级43.5～55.3次m（规范：50次m）；10000级23.8～28.6次m（规范：25次/h）：100000级14.4～19.2次m（规范：15次/h）。

    优点：构造简单，系统建造成本较低，洁净室扩充比较容易，在某些特殊场合，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。

    缺点：乱流造成的微尘粒子在室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达到需求的洁净度，往往耗时相当长。

   2)层流式

    层流式空气气流运动呈均匀直线性，空气由过滤器（100%覆盖工作区）进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此形式适用于洁净室等级较高的环境使用，一般其洁净室等级为1～100。

    其形式可分为两种。

   (1)水平层流式。

    水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁的回风系统回风，尘埃随风向排出室外，一般在下流侧污染较严重。

    优点：构造简单，运转后短时间内即可稳定。

    缺点：建造费用比乱流式高，室内空间不易扩充。

   (2)垂直层流式。

    房间天花板完全以ULPA过滤器覆盖，空气由上往下吹，可得到较高的洁净度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可被快速排出室外而不会影响其他工作区域。

    优点：管理容易，运转开始短时间内即可达稳定状态，不易受作业状态或作业人员的影响。

    缺点：构造费用较高，弹性运用空间困难，天花板的吊架相当占空间，维修更换过滤器较麻烦。

   3)复合式

    复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净空气。

   (1)洁净隧道。

    以HEPA（微粒空气）或ULPA（超低微粒空气）过滤器，将制程区域或工作区域100%覆盖，使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。

    此形式需将作业人员工作区与产品和机器维修予以隔离，以免机器维修时影响工作及产品品质，ULSI制程大都采用此种形式。

    优点：弹性扩充容易；维修设备时可在维修区轻易执行。

   (2)洁净管道。

    将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提高至100级以上。

    因产品和作业人员及发尘环境相互隔离，少量送风即可得到良好的洁净度，可节省能源，无须人工的自动化生产线为最适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

   (3)并装局部洁净室。

    将洁净室等级10000～100000的乱流洁净室内的产品制程区的洁净度等级提高到10～1000级以上，作为生产之用；洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

    洁净工作台：等级1～100级。

    洁净工作棚：为在乱流式洁净室空间内，为防静电可用透明塑料布围成一个小空间，采用独立的HEPA或ULPA及空调送风机组组成一个较高等级的洁净空间，其等级为10～1000级，高度在2.5m左右，覆盖面积在10m²以下，四支柱下加装活动轮，可弹性运用。